Metallization theory and practice for VLSI and ULSI

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Murarka, S. P.
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	Boston Butterworth-Heinemann c1993.
Θέματα:	Integrated circuits > Very large scale integration. Metallizing.