Fundamental aspects of silicon oxidation

Fundamental aspects of silicon oxidation

Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Chabal, Yves Jean 1952-
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: Berlin Springer c2001.
Sarja:Springer series in materials science 46
Aiheet:
Silicon oxide.