Fundamental aspects of silicon oxidation

Fundamental aspects of silicon oxidation

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Chabal, Yves Jean 1952-
التنسيق: كتاب
اللغة:English
منشور في: Berlin Springer c2001.
سلاسل:Springer series in materials science 46
الموضوعات:
Silicon oxide.