Introduction to microelectronic fabrication
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Upper Saddle River, N.J.
Prentice Hall
c2002.
|
| Edizione: | 2nd ed. |
| Serie: | Modular series on solid state devices
v. 5 |
| Soggetti: |


