Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| Tác giả khác: | |
|---|---|
| Định dạng: | Sách |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Bellingham, Wash.
SPIE Optical Engineering Press
c1997.
|
| Loạt: | SPIE Press monograph
PM39-PM40--IEE materials and devices series 12A-12B |
| Những chủ đề: |