Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| Diğer Yazarlar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Kitap |
| Dil: | English |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Bellingham, Wash.
SPIE Optical Engineering Press
c1997.
|
| Seri Bilgileri: | SPIE Press monograph
PM39-PM40--IEE materials and devices series 12A-12B |
| Konular: |