Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| Muut tekijät: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Bellingham, Wash.
SPIE Optical Engineering Press
c1997.
|
| Sarja: | SPIE Press monograph
PM39-PM40--IEE materials and devices series 12A-12B |
| Aiheet: |