Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| Άλλοι συγγραφείς: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Bellingham, Wash.
SPIE Optical Engineering Press
c1997.
|
| Σειρά: | SPIE Press monograph
PM39-PM40--IEE materials and devices series 12A-12B |
| Θέματα: |