Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| Kolejni autorzy: | |
|---|---|
| Format: | Książka |
| Język: | English |
| Wydane: |
Bellingham, Wash.
SPIE Optical Engineering Press
c1997.
|
| Seria: | SPIE Press monograph
PM39-PM40--IEE materials and devices series 12A-12B |
| Hasła przedmiotowe: |