Micromechanics and MEMS classic and seminal papers to 1990

Podrobná bibliografie
Korporativní autor:	Institute of Electrical and Electronics Engineers
Další autoři:	Trimmer, W.
Médium:	Kniha
Jazyk:	English
Vydáno:	New York IEEE Press c1997.
Témata:	Microelectronics. Electromechanical devices. Microelectromechanical systems. Actuators.