Micromechanics and MEMS classic and seminal papers to 1990
| 団体著者: | |
|---|---|
| その他の著者: | |
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
New York
IEEE Press
c1997.
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| 主題: |
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| その他の著者: | |
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
New York
IEEE Press
c1997.
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| 主題: |