Chemical vapour deposition of tungsten from WF6/SiH4 and WF8/GeH4

Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoir:	Van der Jeugd, Cornelius Alexander
Formáid:	LEABHAR
Teanga:	English
Foilsithe / Cruthaithe:	[Netherlands Delft University] 1992.
Ábhair:	Vapor-plating.