Low pressure chemical vapor deposition of SiO2 on porous vycor tubes for gas separation

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Ramos, Emmanuel S. 1970-
Aineistotyyppi:	Opinnäyte
Kieli:	English
Aiheet:	Chemical vapor deposition. Gases > Separation. Silica. Vapor-plating.