Growth of diamond-like carbon thin films as overcoats on silicon and silicon nitride
| Autor principal: | |
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| Outros Autores: | |
| Formato: | Tese |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2023.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Abstract |