Sheet plasma configurations suitable for materials processing

Dades bibliogràfiques
Autors principals:	Ramos, Henry J. (Autor), Doi, Kenta (Autor), Fernandez, Marcedon S. (Autor), Malapit, Giovanni M. (Autor), Sasao, Mamiko (Autor), Villamayor, Michelle Marie S. (Autor), Wada, Motoi (Autor)
Format:	Analytics
Idioma:	English
Publicat:	2014.
Matèries:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.