Sheet plasma configurations suitable for materials processing

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखकों:	Ramos, Henry J. (लेखक), Doi, Kenta (लेखक), Fernandez, Marcedon S. (लेखक), Malapit, Giovanni M. (लेखक), Sasao, Mamiko (लेखक), Villamayor, Michelle Marie S. (लेखक), Wada, Motoi (लेखक)
स्वरूप:	Analytics
भाषा:	English
प्रकाशित:	2014.
विषय:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.