Sheet plasma configurations suitable for materials processing

Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính:	Ramos, Henry J. (Tác giả), Doi, Kenta (Tác giả), Fernandez, Marcedon S. (Tác giả), Malapit, Giovanni M. (Tác giả), Sasao, Mamiko (Tác giả), Villamayor, Michelle Marie S. (Tác giả), Wada, Motoi (Tác giả)
Định dạng:	Analytics
Ngôn ngữ:	English
Được phát hành:	2014.
Những chủ đề:	Ion beams. Magnetized sheet plasmas. Negative hydrogen ions. TiN. SiH.