Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | |
| Materialtyp: | Lärdomsprov |
| Språk: | English |
| Publicerad: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| Ämnen: | |
| Länkar: | Abstract |