Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Диссертация |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Abstract |