Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| 1. autor: | |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | |
| Format: | Praca dyplomowa |
| Język: | English |
| Wydane: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | Abstract |