Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Médium: | Diplomová práce |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | Abstract |