Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | |
| Định dạng: | Luận văn |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | Abstract |