Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| 第一著者: | |
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| その他の著者: | |
| フォーマット: | 学位論文 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
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| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | Abstract |