Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Tesi |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | Abstract |