Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| מחברים אחרים: | |
| פורמט: | Thesis |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | Abstract |