Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| 1. Verfasser: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Abschlussarbeit |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Abstract |