Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | Abstract |