Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Thesis |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | Abstract |