Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source
| Pubblicato in: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43 |
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| Autore principale: | |
| Altri autori: | , , , |
| Natura: | Articolo |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
1999
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| Soggetti: |