Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source
| Опубликовано в:: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , , , |
| Формат: | Статья |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
1999
|
| Предметы: |