Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source
| Publicado no: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43 |
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| Autor principal: | |
| Outros Autores: | , , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
1999
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