Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source
| Yayımlandı: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43 |
|---|---|
| Yazar: | |
| Diğer Yazarlar: | , , , |
| Materyal Türü: | Makale |
| Dil: | English |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
1999
|
| Konular: |