Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source

Détails bibliographiques
Publié dans:Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43
Auteur principal: Valmoria, Nico
Autres auteurs: Mendenilla, Alexander, Yambot, Miguel, Mena, Manolo, Ramos, Henry
Format: Article
Langue:English
Publié: 1999
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