Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source
| 發表在: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43 |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 其他作者: | , , , |
| 格式: | Article |
| 語言: | English |
| 出版: |
1999
|
| 主題: |
| 發表在: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43 |
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| 主要作者: | |
| 其他作者: | , , , |
| 格式: | Article |
| 語言: | English |
| 出版: |
1999
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| 主題: |