Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source

Détails bibliographiques
Publié dans:	Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43
Auteur principal:	Valmoria, Nico
Autres auteurs:	Mendenilla, Alexander, Yambot, Miguel, Mena, Manolo, Ramos, Henry
Format:	Article
Langue:	English
Publié:	1999
Sujets:	Ion sources Plasma physics