Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source

Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source

Podrobná bibliografie
Vydáno v:Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 39-43
Hlavní autor: Valmoria, Nico
Další autoři: Mendenilla, Alexander, Yambot, Miguel, Mena, Manolo, Ramos, Henry
Médium: Článek
Jazyk:English
Vydáno: 1999
Témata:
Ion sources
Plasma physics