Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| I publikationen: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| Huvudupphovsman: | |
| Övriga upphovsmän: | , , |
| Materialtyp: | Artikel |
| Språk: | English |
| Publicerad: |
1999
|
| Ämnen: |