Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| הוצא לאור ב: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| מחבר ראשי: | |
| מחברים אחרים: | , , |
| פורמט: | Article |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
1999
|
| נושאים: |