Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| Julkaisussa: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| Päätekijä: | |
| Muut tekijät: | , , |
| Aineistotyyppi: | Artikkeli |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
1999
|
| Aiheet: |