Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| Cyhoeddwyd yn: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| Prif Awdur: | |
| Awduron Eraill: | , , |
| Fformat: | Erthygl |
| Iaith: | English |
| Cyhoeddwyd: |
1999
|
| Pynciau: |