Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Detaylı Bibliyografya
Yayımlandı:Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Yazar: Mendenilla, Alexander
Diğer Yazarlar: Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Materyal Türü: Makale
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: 1998
Konular:
Plasma physics
Ion sources
Ion beams