Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Dades bibliogràfiques
Publicat a:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Autor principal:	Mendenilla, Alexander
Altres autors:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Format:	Article
Idioma:	English
Publicat:	1998
Matèries:	Plasma physics Ion sources Ion beams