Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Detalles Bibliográficos
Publicado en:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Autor Principal:	Mendenilla, Alexander
Outros autores:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Formato:	Artigo
Idioma:	English
Publicado:	1998
Subjects:	Plasma physics Ion sources Ion beams