Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Bibliografiske detaljer
Udgivet i:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Hovedforfatter:	Mendenilla, Alexander
Andre forfattere:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Format:	Article
Sprog:	English
Udgivet:	1998
Fag:	Plasma physics Ion sources Ion beams