Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
المؤلف الرئيسي:	Mendenilla, Alexander
مؤلفون آخرون:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
التنسيق:	مقال
اللغة:	English
منشور في:	1998
الموضوعات:	Plasma physics Ion sources Ion beams