Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Bibliografiset tiedot
Julkaisussa:Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Päätekijä: Mendenilla, Alexander
Muut tekijät: Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Aineistotyyppi: Artikkeli
Kieli:English
Julkaistu: 1998
Aiheet:
Plasma physics
Ion sources
Ion beams