Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Opis bibliograficzny
Wydane w:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
1. autor:	Mendenilla, Alexander
Kolejni autorzy:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Format:	Artykuł
Język:	English
Wydane:	1998
Hasła przedmiotowe:	Plasma physics Ion sources Ion beams