Transverse beam profile analysis of a plasma sputter ion source

Manylion Llyfryddiaeth
Cyhoeddwyd yn:	Science Diliman Vol. 10, no. 1 (1998), 21-30
Prif Awdur:	Mendenilla, Alexander
Awduron Eraill:	Blanca, Carlo Mar, Ramos, Henry
Fformat:	Erthygl
Iaith:	English
Cyhoeddwyd:	1998
Pynciau:	Plasma physics Ion sources Ion beams