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    Thin-film deposition of zirconium nitride (ZrN) via the plasma sputter-type multicusp ion source द्वारा Valmoria, Nicomedes Baz

    प्रकाशित 2000
    थीसिस

    Thin-film deposition of zirconium nitride (ZrN) via the plasma sputter-type multicusp ion source

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