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    Production of Au, Nb, and Si ions using a sputter-type negative ion source 著者: Ulano, April M.

    出版事項 2012
    学位論文
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  6. 6
  7. 7

    Glow discharge processes sputtering and plasma etching 著者: Chapman, Brian N.

    出版事項 1980
    図書
  8. 8