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    Nano and micromachining

    出版事項 2009
    図書
  4. 4

    Semiconductor micromachining

    出版事項 1998
    図書
  5. 5

    Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication

    出版事項 1997
    図書
  6. 6

    Reinventing the factory 著者: Harmon, Roy L., Peterson, Leroy D.

    出版事項 1990
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