Polymers in microlithography materials and processes

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς:	Reichmanis, Elsa 1953- (Επιμελητής έκδοσης), MacDonald, Scott A. (Επιμελητής έκδοσης), Iwayanagi, Takao 1949- (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή:	Electronic Resource
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	Washington, DC American Chemical Society [1989]
Θέματα:	Polymers > Congresses. Photoresists > Congresses. Microlithography > Materials > Congresses. Electronic books.
Διαθέσιμο Online:	Available for University of the Philippines Diliman via ACS Publications. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines Diliman via ACS Publications. Click here to access thru EZproxy