Ehrlich, D. J., & Tsao, J. Y. (1989). Laser microfabrication: Thin film processes and lithography. Academic Press. https://doi.org/10.1016/C2009-0-22188-X
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ehrlich, Daniel J., und Jeffrey Y. Tsao. Laser Microfabrication: Thin Film Processes and Lithography. Boston: Academic Press, 1989. https://doi.org/10.1016/C2009-0-22188-X.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ehrlich, Daniel J., und Jeffrey Y. Tsao. Laser Microfabrication: Thin Film Processes and Lithography. Academic Press, 1989. https://doi.org/10.1016/C2009-0-22188-X.
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