Brewer, G. R. (1980). Electron-beam technology in microelectronic fabrication. Academic Press. https://doi.org/10.1016/B978-0-12-133550-2.X5001-9
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Brewer, George Raymond. Electron-beam Technology in Microelectronic Fabrication. New York: Academic Press, 1980. https://doi.org/10.1016/B978-0-12-133550-2.X5001-9.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Brewer, George Raymond. Electron-beam Technology in Microelectronic Fabrication. Academic Press, 1980. https://doi.org/10.1016/B978-0-12-133550-2.X5001-9.
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