Micro and nano fabrication tools and processes

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς:	Gatzen, Hans-Heinrich (Συγγραφέας), Saile, Volker (Συγγραφέας), Leuthold, Jürg (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή:	SpringerLink (Online service)
Μορφή:	Electronic Resource
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg [2015]
Θέματα:	Microelectromechanical systems. Electronic books.
Διαθέσιμο Online:	Available for University of the Philippines System via SpringerLink. Click here to access Also available remotely for University of the Philippines System via SpringerLink. Click here to access thru EZproxy