Nojiri, K., & Ikezi, Y. (2015). Dry etching technology for semiconductors. Springer. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5
Chicago-viite (17. p.)Nojiri, Kazuo, ja Yuki Ikezi. Dry Etching Technology for Semiconductors. Cham: Springer, 2015. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5.
MLA-viite (9. p.)Nojiri, Kazuo, ja Yuki Ikezi. Dry Etching Technology for Semiconductors. Springer, 2015. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.