Nojiri, K., & Ikezi, Y. (2015). Dry etching technology for semiconductors. Springer. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Nojiri, Kazuo, e Yuki Ikezi. Dry Etching Technology for Semiconductors. Cham: Springer, 2015. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5.
Citação MLA (9ª ed.)Nojiri, Kazuo, e Yuki Ikezi. Dry Etching Technology for Semiconductors. Springer, 2015. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5.
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