Nojiri, K., & Ikezi, Y. (2015). Dry etching technology for semiconductors. Springer. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Nojiri, Kazuo, và Yuki Ikezi. Dry Etching Technology for Semiconductors. Cham: Springer, 2015. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Nojiri, Kazuo, và Yuki Ikezi. Dry Etching Technology for Semiconductors. Springer, 2015. https://doi.org/10.1007/978-3-319-10295-5.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.